ITO旋轉靶(綁定后)

表1:

 

項目

規格

主要成分

In2O3:SnO2=90:10(wt%),其它比例以客戶要求為準

純度

4N(雜質含量見附表)

相對密度

≥99.3%(理論密度7.15g/cm3

電阻率

≤1.8Ω·mm2/m

失氧率

≤0.5%

物理規格

呈圓筒狀或其他形狀,其尺寸及偏差由供需雙方商定

外觀質量

外觀顏色均勻;表面平整,無裂紋,無崩邊崩角,且無任何外來夾雜物和污染物

內部缺陷

內部無裂紋,無異物

 

附表:

 

雜質含量(×10-6)不大于         單位:wt%

Fe

Pb

Zn

Ni

Cu

Cd

Al

Si

Ca

Mg

15

10

10

5

5

5

15

15

15

5

 
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